Ion Beam Milling
- 网络离子束研磨；离子束磨蚀；离子铣
Ion Beam MillingIon Beam Milling
离子束研磨
半导体术语字母索引中英文解析 - 英文互动 -... ... Ion -- 离子 Ion Beam Milling -- 离子束研磨 Ion Implantation -- 离子注入 ...
离子束磨蚀
离子束磨蚀(ion beam milling) : 使用离子束的干法刻蚀方法. 氩原子被电离并加速到晶圆上. 晶圆暴露的部分通过溅射方式去除.+ …
离子铣
单晶硅常用词汇 - Crystal Growth... ... 刻蚀 etching;~ W% G* y# j* H! _ 离子铣 ion beam milling 电迁徙 electromigration ...
离子铣工艺
...)制作了微流量传感器的电极;同时又基于硅基底,运用离子铣工艺(Ion Beam Milling)制作了微流量传感器的电极,对比了二种加 …
离子束抛光
1．3．3．4 离子束抛光（Ion Beam Milling）26-27 1．3．3．5 离轴非球面镜制造技术27 1．4 非球面面形检测方法27-30 1．4…